莱宝（LEYBOLD）真空泵与检漏测量系统 真空获得与漏率检测用

一、产品简介

真空泵与检漏测量系统属于真空获得与测量设备，前者负责把封闭腔体抽至目标压力，后者负责判断腔体是否存在泄漏并定位漏点。莱宝（LEYBOLD）的产品线覆盖从粗真空到高真空的泵种，以及配套的真空计、检漏仪与阀门管路组件。在真空系统里两者相互依赖：抽速决定能达到的极限压力，泄漏率决定压力能否长时间维持。

真空系统按压力区间选择泵种。粗真空段常用旋片泵与干式螺杆泵，中真空段可用罗茨泵作为增压，高真空段依赖扩散泵或涡轮分子泵。选择时不能只看极限压力指标，还要看在该压力区间的有效抽速。

二、产品特点

• 多泵种覆盖：旋片泵、干式泵、罗茨泵与涡轮分子泵按压力区间组合使用。
• 干式运行选项：无油干式泵避免返油污染，适合洁净腔体与镀膜工艺。
• 抽速与极限压力分档：按腔体容积与目标压力核算，避免只看极限压力。
• 检漏灵敏度可选：氦质谱法适合严格漏率要求，压力衰减法适合大容积系统。
• 测量与记录配套：真空计与检漏仪可输出信号，便于接入数据记录系统。

三、规格参数

• 典型压力区间：粗真空、中真空与高真空，按工艺目标压力选择泵种组合。
• 抽速表述：以体积流率表示，需标注对应压力区间，抽速随压力变化。
• 极限压力：标注测量条件，有无气镇、是否烘烤会影响实测值。
• 泵体材质与密封：按被抽气体的腐蚀性与是否含可凝性蒸气选择。
• 检漏方式：氦质谱检漏与压力衰减法，按允许泄漏率与腔体容积选择。
• 接口规格：法兰标准与管径按系统通径匹配，管路过细会限制有效抽速。

四、行业应用

• 镀膜与真空热处理设备，要求洁净无油且抽速稳定。
• 半导体与显示面板制程腔体，对颗粒与返油敏感。
• 真空干燥与脱气工艺，被抽气体含大量水蒸气。
• 电力与制冷行业的密封件检漏与充注前检测。
• 科研实验腔体，需要覆盖多个压力区间的测量。

五、选购指南

• 先明确目标工作压力与腔体容积，按该压力区间的有效抽速核算抽气时间。
• 区分被抽气体成分，含水蒸气或溶剂蒸气时应配置气镇或冷阱。
• 洁净工艺优先考虑干式泵，可避免油蒸气返流污染腔体与工件表面。
• 管路通径应与泵口匹配，过细或过长会显著降低有效抽速。
• 检漏方法按允许泄漏率选择，氦质谱法灵敏度高但需要示踪气体。

六、常见问题

问：系统抽不到目标压力，应从哪些方面排查？答：先区分是抽速不足还是存在泄漏。可在稳定后关闭阀门做压力上升试验，若压力快速回升说明存在泄漏或放气；若压力维持但达不到目标值，则更可能是有效抽速不足或泵性能下降。

问：抽气过程中水蒸气难以排净，如何处理？答：水蒸气在压缩过程中易凝结，需要开启气镇阀引入干燥空气，把蒸气分压控制在凝结压力以下。同时适当提高泵体温度、缩短管路并避免管路上出现低点积液。

问：检漏结果重复性差，可能是什么原因？答：常见原因是示踪气体喷吹方式不稳定，或检测前系统内残留气体未充分置换。喷吹应保持固定距离与移动速度，检测前还应确认环境本底值稳定。

七、资料与技术支持

莱宝（LEYBOLD）按压力区间提供泵种组合建议、有效抽速换算方法与检漏灵敏度参数说明。使用维护上应重点关注泵油状态与更换周期、进气过滤器的堵塞情况以及泄漏率随时间的趋势变化，相关技术细节可查阅厂商技术手册与真空技术相关标准。