螺杆真空泵与分子泵（LEYBOLD）

一、产品简介

螺杆真空泵属于干式容积式真空泵，靠一对相互啮合的螺杆转子在泵腔内反向旋转，把气体从进气口沿轴向输送到排气口；分子泵属于动量传递型高真空泵，通过高速旋转的多级叶片把气体分子逐级压缩后送往排气侧。两者常串联使用，螺杆泵作前级、分子泵作主泵。

莱宝（LEYBOLD）在真空获得设备上的产品线覆盖干式螺杆真空泵、涡轮分子泵以及配套的真空测量与控制部件，用于镀膜、半导体与分析仪器等对洁净度与极限压力有要求的工艺。

二、产品特点

• 螺杆泵无油干式运行：泵腔不接触工作液，抽气不产生油蒸气返流，适合对油污染敏感的镀膜与半导体工艺。
• 分子泵抽速密度高：在相同法兰口径下可获得较高抽速，极限压力能进入高真空区间。
• 转子型线决定效率：螺杆转子型线与间隙配合影响内泄漏量，进而影响极限压力与功耗。
• 温控影响可凝性气体抽除能力：泵体加热与吹扫可抑制工艺气体冷凝与粉尘沉积。
• 变频驱动便于工艺匹配：通过转速调节抽速，在低负荷阶段降低能耗与噪声。
• 保护逻辑完善：具备过温、过载与轴承状态监测接口，可与上位控制系统联锁。

三、规格参数

• 典型抽速范围：螺杆泵自数十至数百立方米每小时，分子泵自数十至数千升每秒。
• 典型极限压力：螺杆泵可达数帕至零点几帕量级，分子泵可进入高真空区间。
• 典型结构：单级或双级螺杆转子、多级涡轮叶片转子与复合式转子。
• 典型驱动方式：直联电机、变频电机与永磁同步高速电机。
• 典型接口：ISO-K、ISO-F、CF 法兰以及按工艺定制的进气口。
• 典型冷却方式：水冷与风冷，视抽速与工艺气体负荷选择。

四、行业应用

• 半导体制造：刻蚀、离子注入与薄膜沉积设备的抽气链路。
• 光学与玻璃镀膜：真空镀膜线中作为主泵与前级泵组合。
• 真空热处理与钎焊：高温炉体内气体排除与洁净度维持。
• 分析仪器：质谱、电子显微镜等对残余气体成分敏感的场合。
• 医药与化工：溶剂回收、干燥与脱气工艺中的无油抽气。

五、选购指南

• 先明确工艺要求的工作压力区间与极限压力，再确定泵型组合方式。
• 核对抽速与工艺气体负荷的匹配关系，并考虑可凝性气体与粉尘含量。
• 评估工艺气体腐蚀性，选择转子与泵腔的材质及表面处理。
• 确认前级泵与主泵的抽速比，避免前级不足导致主泵排气侧压力偏高。
• 关注振动与噪声指标，精密仪器配套场合需核算传递到工作台的振动。
• 预留维护空间与备件周期，干式泵按运行时长安排密封与轴承检查。

六、常见问题

问：螺杆泵为什么需要加热？答：抽除可凝性气体时，若泵腔温度低于气体露点，蒸气会在腔内冷凝并混入粉尘形成沉积，影响间隙与转子转动，加热可把腔内温度维持在露点以上。

问：分子泵能否直接从大气压启动？答：不能。分子泵依靠分子动量传递工作，压力较高时气体密度大、发热严重，必须由前级泵把压力降到允许启动范围后才能升速。

问：极限压力达不到标称值如何排查？答：先做氦检漏确认系统漏率，再检查法兰密封圈、进气滤网与管路内壁吸附情况，并核对前级泵性能与真空计校准状态。

七、资料与技术支持

螺杆真空泵与分子泵的选型需要抽速、极限压力与气体成分等数据支撑，可查阅真空技术手册中关于容积泵与动量泵的原理章节及相关真空标准，以及莱宝（LEYBOLD）公开的产品样本与操作说明。